摘要：論述挖掘企業(yè)的真實(shí)需求，探索校企深度融合，融入企業(yè)的發(fā)展，共建專業(yè)學(xué)院的途徑；開展理事會(huì)領(lǐng)導(dǎo)下的共建專業(yè)學(xué)院的體制機(jī)制創(chuàng)新，形成現(xiàn)代學(xué)徒和企業(yè)人員共同成長的共育人才平臺(tái)，支持企業(yè)發(fā)展；在專業(yè)學(xué)院的基礎(chǔ)上開展招生即招工，微電子專業(yè)的人才培養(yǎng)方案的制定，校企共建師資隊(duì)伍，校企共建實(shí)訓(xùn)基地，校企共同評(píng)價(jià)現(xiàn)代學(xué)徒制學(xué)生的探索；提出以企業(yè)兼職教師的關(guān)切點(diǎn)為核心，提升企業(yè)兼職教師教學(xué)積極性和主動(dòng)性，優(yōu)化學(xué)程設(shè)計(jì)的解決方案；提出將現(xiàn)代學(xué)徒制學(xué)生的評(píng)價(jià)和企業(yè)星級(jí)工程師的評(píng)價(jià)對(duì)接，縮短學(xué)生進(jìn)入評(píng)價(jià)體系時(shí)間限制，達(dá)到評(píng)價(jià)要求即落實(shí)工資待遇的實(shí)施方案，有效激發(fā)學(xué)生學(xué)知識(shí)和技能的積極性和主動(dòng)性。

關(guān)鍵詞：現(xiàn)代學(xué)徒制；產(chǎn)教融合；微電子；評(píng)價(jià)對(duì)接；職業(yè)教育

為貫徹落實(shí)全國職業(yè)教育工作會(huì)議精神和《國務(wù)院關(guān)于加快發(fā)展現(xiàn)代職業(yè)教育的決定》，扎實(shí)推進(jìn)《國家教育事業(yè)發(fā)展“十三五”規(guī)劃》，持續(xù)做好現(xiàn)代學(xué)徒制試點(diǎn)工作，教育部先后啟動(dòng)兩批現(xiàn)代學(xué)徒制試點(diǎn)工作，相關(guān)文件分別是《教育部關(guān)于開展現(xiàn)代學(xué)徒制試點(diǎn)工作的意見》（教職成〔2014〕9號(hào)）、《教育部辦公廳關(guān)于做好2017年度現(xiàn)代學(xué)徒制試點(diǎn)工作的通知》（教職成廳函〔2017〕17號(hào)）[1-3]。為有效開展現(xiàn)代學(xué)徒制試點(diǎn)工作，2015年開始，筆者所在學(xué)校進(jìn)行了有序的研究和探索。根據(jù)相關(guān)文件，牽頭試點(diǎn)的主體可以是地級(jí)市、行業(yè)、企業(yè)及職業(yè)院校，我校從2015年開始現(xiàn)代學(xué)徒制試點(diǎn)探索，2017年成功申報(bào)教育部第二批現(xiàn)代學(xué)徒制試點(diǎn)項(xiàng)目，試點(diǎn)專業(yè)為電子信息工程技術(shù)專業(yè)（微電子方向），經(jīng)過學(xué)校和北京燕東微電子有限公司的深入合作，正式啟動(dòng)了現(xiàn)代學(xué)徒制的試點(diǎn)，共同創(chuàng)新了現(xiàn)代學(xué)徒制“燕東微電子”模式。本文將結(jié)合我校實(shí)際情況，以職業(yè)院校和企業(yè)同時(shí)為主體，就現(xiàn)代學(xué)徒制試點(diǎn)研究與實(shí)踐情況進(jìn)行闡述。

一依托行業(yè)背景，挖掘企業(yè)需求，解決企業(yè)難題，融入企業(yè)發(fā)展，夯實(shí)合作基礎(chǔ)，成立專業(yè)學(xué)院，形成育人平臺(tái)

首先，雙方具有合作基礎(chǔ)。北京信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院依靠行業(yè)辦學(xué)，是全額撥款的事業(yè)單位，學(xué)校和北京燕東微電子有限公司都隸屬于北京電子控股有限責(zé)任公司，北京電控是北京市國資委管理的市屬大型國有企業(yè)，并同時(shí)地處北京酒仙橋地區(qū)，酒仙橋地區(qū)曾是我們國家的第一個(gè)電子工業(yè)基地，學(xué)校和燕東保持著良好的溝通和交往關(guān)系，現(xiàn)在企業(yè)生產(chǎn)一線的骨干員工基本都來自我校，由于這種天然的關(guān)系，學(xué)校對(duì)企業(yè)的了解比較深入。隨著國家整個(gè)集成電路產(chǎn)業(yè)政策的調(diào)整，燕東進(jìn)入了發(fā)展快車道，企業(yè)隨著新產(chǎn)線的投產(chǎn)以及產(chǎn)線的升級(jí)換代，急需補(bǔ)充大量新員工，同時(shí)要對(duì)現(xiàn)有員工進(jìn)行培訓(xùn)，對(duì)現(xiàn)有員工的培訓(xùn)主要有以下幾個(gè)方面：（1）對(duì)出國到馬來西亞參加培訓(xùn)人員的英語口語能力的培訓(xùn)；（2）現(xiàn)有員工的提升，主要針對(duì)學(xué)歷是中職層次的員工，這部分人已經(jīng)有豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，但電路原理、電子線路等方面的基礎(chǔ)比較薄弱，急需提高。完成（1）和（2）兩項(xiàng)工作是學(xué)校的強(qiáng)項(xiàng)，利用學(xué)校的師資和實(shí)訓(xùn)室完全能夠高質(zhì)量完成，并且針對(duì)中職層次的員工，學(xué)校還可通過與成人教育的對(duì)接實(shí)現(xiàn)其學(xué)歷的提升，為企業(yè)提供切實(shí)的服務(wù)。其次，學(xué)校具備為企業(yè)培訓(xùn)員工所需設(shè)備設(shè)施。企業(yè)對(duì)員工進(jìn)行培訓(xùn)，企業(yè)內(nèi)部也沒有好的培訓(xùn)設(shè)施作保障，特別是一些重要的培訓(xùn)，要讓不同地點(diǎn)的員工都能參加，又不影響生產(chǎn)，同時(shí)避免員工路途奔波，需要培訓(xùn)教室具備現(xiàn)場(chǎng)直播功能，大型的培訓(xùn)教室和網(wǎng)絡(luò)直播功能這些基礎(chǔ)設(shè)施學(xué)校全部具備，基于學(xué)校的優(yōu)勢(shì)，學(xué)校全部承接了燕東的這些培訓(xùn)，解決了企業(yè)難題，融入到企業(yè)的發(fā)展之中，有力支持了企業(yè)的發(fā)展，夯實(shí)了合作基礎(chǔ)。第三，校企雙方業(yè)已搭建共同育人平臺(tái)。燕東企業(yè)星級(jí)工程師的評(píng)價(jià)需要一個(gè)培養(yǎng)平臺(tái)，從而完成對(duì)員工的繼續(xù)教育和評(píng)價(jià)；同時(shí)，燕東是國內(nèi)多所高校研究生的培養(yǎng)基地，要實(shí)現(xiàn)在燕東公司的框架下和高校的對(duì)接，也需要一個(gè)平臺(tái)。學(xué)校要開展現(xiàn)代學(xué)徒制試點(diǎn)，也需要搭建一個(gè)平臺(tái)，突出現(xiàn)代學(xué)徒制試點(diǎn)的特點(diǎn)。學(xué)校為了將企業(yè)在職員工的培訓(xùn)和現(xiàn)代學(xué)徒制學(xué)生的教育基于同樣的文化進(jìn)行培養(yǎng)，決定提供500平米的場(chǎng)地保障，開展育人環(huán)境的文化建設(shè)?；谝陨隙鄠€(gè)方面的考慮，經(jīng)過反復(fù)論證，雙方?jīng)Q定成立企業(yè)冠名的“燕東微電子學(xué)院”，構(gòu)筑共同育人的平臺(tái)。在上級(jí)主管單位的領(lǐng)導(dǎo)下，成立理事會(huì)，制定章程，制定議事規(guī)則和經(jīng)費(fèi)管理辦法，燕東微電子學(xué)院運(yùn)行機(jī)制為理事會(huì)領(lǐng)導(dǎo)下的院長負(fù)責(zé)制；工作地址北京信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院和北京燕東微電子有限公司同時(shí)授牌“燕東微電子學(xué)院”，日常工作地址設(shè)在北京信息職業(yè)技術(shù)學(xué)院電子與自動(dòng)化工程學(xué)院?！把鄸|微電子學(xué)院”專業(yè)學(xué)院的成立，使校企雙方進(jìn)一步明確了各自的職責(zé)、權(quán)利，該平臺(tái)為現(xiàn)代學(xué)徒制的試點(diǎn)奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。

二急企業(yè)之所急，提供人才保障，落實(shí)招生即招工燕東公司新的生產(chǎn)線的投產(chǎn)需要大批一線技術(shù)技能人才

微電子技術(shù)作為現(xiàn)今電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)具有廣闊的發(fā)展前景，但其在發(fā)展過程中不可避免的出現(xiàn)一些阻礙因素影響微電子技術(shù)的發(fā)展，例如其本省存在的物理限制、材料以及工藝的都限制了微電子技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展。而電子產(chǎn)品微型化又是現(xiàn)今社會(huì)的需求和電子產(chǎn)品的主流發(fā)展趨勢(shì)，微電子技術(shù)的優(yōu)化與創(chuàng)新不但會(huì)給人們的生活生產(chǎn)帶來極大的便利還可以促進(jìn)現(xiàn)有航天載人技術(shù)、信息通信技術(shù)以及電子材料制作逐漸趨于優(yōu)化，朝著更高水平發(fā)展。微電子技術(shù)主要是指集成電路芯片制備、微電子封裝技術(shù)以及薄膜工藝等技術(shù)，當(dāng)下，微電子技術(shù)的發(fā)展水平已逐步成為衡量一個(gè)國家綜合國力的重要考量點(diǎn)，所以，就有必要對(duì)微電子技術(shù)的發(fā)展進(jìn)行探討，找出制約微電子技術(shù)發(fā)展的因素和對(duì)微電子技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域進(jìn)行分析。文章首先對(duì)微電子技術(shù)的發(fā)展歷程與現(xiàn)狀進(jìn)行了闡述，基于此對(duì)微電子技術(shù)的限制因素及發(fā)展方向進(jìn)行了探討，最后結(jié)合微電子技術(shù)的應(yīng)用分析了微電子技術(shù)發(fā)展的新領(lǐng)域，以期為我國微電子技術(shù)的發(fā)展提供思路參考。

1.微電子技術(shù)的發(fā)展歷程

1947年晶體管的問世為微電子技術(shù)的發(fā)展奠定了基礎(chǔ)，而微電子技術(shù)應(yīng)用始于上世紀(jì)50年代，這一時(shí)間段是微電子技術(shù)發(fā)展較為迅猛的時(shí)期，而之后出現(xiàn)的集成電路更是引領(lǐng)了電機(jī)技術(shù)新的革命性革新，上世界70年代進(jìn)入了微電子技術(shù)發(fā)展的高峰階段，這一時(shí)期內(nèi)微電子技術(shù)在各個(gè)行業(yè)以及人們的日常生活生產(chǎn)中開始大規(guī)模應(yīng)用，尤其是在微型計(jì)算機(jī)出現(xiàn)以后更是凸顯了微電子技術(shù)在高新技術(shù)中的關(guān)鍵作用。進(jìn)入21實(shí)際后，微電子技術(shù)可以說正式進(jìn)入千微電子技術(shù)的現(xiàn)狀及其發(fā)展趨勢(shì)廣州南方衛(wèi)星導(dǎo)航儀器有限公司黃勁風(fēng)家萬戶，并發(fā)揮重要作用。比如，小到人們?cè)谌粘Ｉ钪谐Ｊ褂玫挠?jì)算機(jī)、手機(jī)以及家用電器等的生產(chǎn)制造，大至航天載人實(shí)現(xiàn)、汽車工業(yè)等都是基于微電子技術(shù)來完成的。先進(jìn)，我國的微電子技術(shù)已取得長足進(jìn)步，甚至一些領(lǐng)域處于世界領(lǐng)先地位，例如，在集成納米方面的研究以及成功實(shí)現(xiàn)擴(kuò)大集成規(guī)模化，華為公司的移動(dòng)芯片在全世界處于領(lǐng)先地位，海思芯片已于高通、三星等芯片平齊平坐。

2.微電子技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀

21世紀(jì)隨著信息技術(shù)的大規(guī)模應(yīng)用微電子技術(shù)也得到了快速的發(fā)展，微電子技術(shù)并逐漸開始在信息時(shí)代中發(fā)揮重要作用，其逐漸成為影響信息時(shí)展的關(guān)鍵角色。從上文中所述的微電子技術(shù)發(fā)展歷程來說，自20世紀(jì)50年代晶體管的問世標(biāo)志著微電子技術(shù)的產(chǎn)生，在之后的幾年間內(nèi)集成電路的出現(xiàn)更是為現(xiàn)今微型計(jì)算機(jī)的發(fā)展奠定了基礎(chǔ)，在20世紀(jì)70年代初期集成電路在微型計(jì)算機(jī)領(lǐng)域的大范圍應(yīng)用更是表明了微電子技術(shù)發(fā)展跨上了新的臺(tái)階。現(xiàn)今，隨著計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)以及電子信息技術(shù)的大發(fā)展，以集成電路為核心的微電子技術(shù)更是發(fā)展至空前高度，相比于誕生初期的微電子技術(shù)集成化程度現(xiàn)今的微電機(jī)技術(shù)集成化程度整整提升了500萬倍，此外，相比于誕生初期的微電子技術(shù)產(chǎn)品體積與重量都有了大幅度的降低，現(xiàn)今一個(gè)微小的單獨(dú)集成片就可以包含近千萬個(gè)集體館，尤其是在改革開放之后，國家在微電子技術(shù)方面得讓研究力度在不斷加大，而微電子技術(shù)產(chǎn)業(yè)也迎來了新的發(fā)展良機(jī)，隨著我國在微電子技術(shù)方面研究的不斷深入現(xiàn)今已經(jīng)取得驕人的成績，例如在深亞微米集成化研究方面已經(jīng)在國家上取得領(lǐng)先地位，而我國微電子技術(shù)產(chǎn)業(yè)也開始有最初的簡單粗放式發(fā)展逐步向集成化和規(guī)?；l(fā)展。此外，我國在微電子芯片研究領(lǐng)域同樣取得可喜成績，現(xiàn)今集成芯片已經(jīng)大范圍應(yīng)用在信息通信、多媒體設(shè)備和數(shù)字信號(hào)處理技術(shù)中，但總體而言我國微電子技術(shù)的發(fā)展水平與其它發(fā)達(dá)國家還存在較大差距，因此，我國要持續(xù)增加微電子技術(shù)研發(fā)力度，從政策以及資金上給予相應(yīng)支持，不斷的提升我國微電子技術(shù)創(chuàng)新水平，最終保證我國微電子技術(shù)緊跟時(shí)展。

3.微電子技術(shù)的限制因素及發(fā)展方向

1微電子學(xué)與集成電路解讀

微電子學(xué)是電子學(xué)的分支學(xué)科，主要致力于電子產(chǎn)品的微型化，達(dá)到提升電子產(chǎn)品應(yīng)用便利和應(yīng)用空間的目的。微電子學(xué)還屬于一門綜合性較強(qiáng)學(xué)科類型，具體的微電子研究中，會(huì)用到相關(guān)物理學(xué)、量子力學(xué)和材料工藝等知識(shí)。微電子學(xué)研究中，切實(shí)將集成電路納入到研究體系中。此外，微電子學(xué)還對(duì)集成電子器件和集成超導(dǎo)器件等展開研究和解讀。微電子學(xué)的發(fā)展目標(biāo)是低能耗、高性能和高集成度等特點(diǎn)。集成電路是通過相關(guān)電子元件的組合，形成一個(gè)具備相關(guān)功能的電路或系，并可以將集成電路視為微電子學(xué)之一。集成電路在實(shí)際的應(yīng)用中具有體積小、成本低、能耗小等特點(diǎn)，滿足諸多高新技術(shù)的基本需求。而且，隨著集成電路的相關(guān)技術(shù)完善，集成電路逐漸成為人們生產(chǎn)生活中不可缺少的重要部分。

2微電子發(fā)展?fàn)顟B(tài)與趨勢(shì)分析

2.1發(fā)展與現(xiàn)狀

從晶體管的研發(fā)到微電子技術(shù)逐漸成熟經(jīng)歷漫長的演變史，由晶體管的研發(fā)→以組件為基礎(chǔ)的混合元件（鍺集成電路）→半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管→MOS電路→微電子。這一發(fā)展過程中，電路涉及的內(nèi)容逐漸增多，電路的設(shè)計(jì)和過程也更加復(fù)雜，電路制造成本也逐漸增高，單純的人工設(shè)計(jì)逐漸不能滿足電路的發(fā)展需求，并朝向信息化、高集成和高性能的發(fā)展方向。現(xiàn)階段，國內(nèi)對(duì)微電子的發(fā)展創(chuàng)造了良好的發(fā)展空間，目前國內(nèi)微電電子發(fā)展特點(diǎn)如下：（1）微電子技術(shù)創(chuàng)新取得了具有突破性的進(jìn)展，且逐漸形成具有較大規(guī)模的集成電路設(shè)計(jì)產(chǎn)業(yè)規(guī)模。對(duì)于集成電路的技術(shù)水平在0.8~1.5μm，部分尖端企業(yè)的技術(shù)水平可以達(dá)到0.13μm。（2）微電子產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)不斷優(yōu)化，隨著技術(shù)的革新產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)逐漸生成完整的產(chǎn)業(yè)鏈，上下游關(guān)系處理完善。（3）產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大，更多企業(yè)參與到微電子學(xué)的研究和電路中，有效推動(dòng)了微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，促使微電子技術(shù)得到了進(jìn)一步的完善和發(fā)展。

2.2發(fā)展趨勢(shì)

文章摘要：隨著微電子技術(shù)的不斷發(fā)展，在我國的各行各業(yè)中科技水平也在不斷提高，微電子技術(shù)不僅僅可以應(yīng)用于工業(yè)等各種領(lǐng)域，我們也可以看到微電子技術(shù)，同樣可以應(yīng)用在航空系統(tǒng)之中，促進(jìn)航空系統(tǒng)的進(jìn)步，從而推動(dòng)其向綜合化、模塊化方向發(fā)展。本文就將以微電子及微電子在航空系統(tǒng)中的發(fā)展的重要內(nèi)涵為著手點(diǎn)，從而提出將微電子技術(shù)更好地應(yīng)用于航空系統(tǒng)中的重要策略。

關(guān)鍵詞：微電子技術(shù)；航空系統(tǒng)；綜合化

微電子技術(shù)的進(jìn)步在很大程度上提升各領(lǐng)域的科學(xué)水平，促進(jìn)了各領(lǐng)域上的發(fā)展，目前在微電子技術(shù)在航空系統(tǒng)中的應(yīng)用效果中，我們可以看到微電子技術(shù)的重要作用，不僅僅能夠促進(jìn)航空系統(tǒng)向經(jīng)濟(jì)性、技術(shù)性方向發(fā)展，同時(shí)也能促進(jìn)航空系統(tǒng)整體性的進(jìn)步。所以我們要明確微電子技術(shù)及微電子技術(shù)應(yīng)用于航空系統(tǒng)的重要作用，從而對(duì)如何更好地應(yīng)用微電子技術(shù)進(jìn)行探究，希望可以促進(jìn)微電子技術(shù)在航空系統(tǒng)中的發(fā)展。

1微電子技術(shù)的基本概念

微電子技術(shù)是較為復(fù)雜精密的科學(xué)技術(shù)之一，是建立在各種高密度微電子組件的基礎(chǔ)上的高微電子技術(shù)。作為目前國內(nèi)較為高精尖的基本技術(shù)端電子技術(shù)，其應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛，不僅僅可以使用于航空航天中，也可以使用在各個(gè)工業(yè)領(lǐng)域及商業(yè)領(lǐng)域上，微電子技術(shù)的展現(xiàn)形式通常是以微電子商品或者集合多種電子元器件的綜合系統(tǒng)載體等出現(xiàn)，同時(shí)這也是各種半導(dǎo)體元件的產(chǎn)品的相關(guān)統(tǒng)稱，作為集成電路的一個(gè)重要載體，微電子技術(shù)對(duì)于促進(jìn)各領(lǐng)域的發(fā)展是有重要作用的，但是微電子技術(shù)的學(xué)習(xí)與創(chuàng)新是微電子技術(shù)發(fā)展的難點(diǎn)，在目前的信息化時(shí)代，我們既要正視微電子技術(shù)的重要性，又要對(duì)微電子技術(shù)進(jìn)行學(xué)習(xí)與創(chuàng)新，從而促進(jìn)國家科學(xué)、經(jīng)濟(jì)、國防等進(jìn)一步發(fā)展。

2微電子技術(shù)在航空系統(tǒng)發(fā)展中的重要內(nèi)涵

摘要本文展望了21世紀(jì)微電子技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。認(rèn)為：21世紀(jì)初的微電子技術(shù)仍將以硅基CMOS電路為主流工藝，但將突破目前所謂的物理“限制”，繼續(xù)快速發(fā)展；集成電路將逐步發(fā)展成為集成系統(tǒng)；微電子技術(shù)將與其它技術(shù)結(jié)合形成一系列新的增長點(diǎn)，例如微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）、DNA芯片等。具體地講，SOC設(shè)計(jì)技術(shù)、超微細(xì)光刻技術(shù)、虛擬工廠技術(shù)、銅互連及低K互連絕緣介質(zhì)、高K柵絕緣介質(zhì)和柵工程技術(shù)、SOI技術(shù)等將在近幾年內(nèi)得到快速發(fā)展。21世紀(jì)將是我國微電子產(chǎn)業(yè)的黃金時(shí)代。

關(guān)鍵詞微電子技術(shù)集成系統(tǒng)微機(jī)電系統(tǒng)DNA芯片

1引言

綜觀人類社會(huì)發(fā)展的文明史，一切生產(chǎn)方式和生活方式的重大變革都是由于新的科學(xué)發(fā)現(xiàn)和新技術(shù)的產(chǎn)生而引發(fā)的，科學(xué)技術(shù)作為革命的力量，推動(dòng)著人類社會(huì)向前發(fā)展。從50多年前晶體管的發(fā)明到目前微電子技術(shù)成為整個(gè)信息社會(huì)的基礎(chǔ)和核心的發(fā)展歷史充分證明了“科學(xué)技術(shù)是第一生產(chǎn)力”。信息是客觀事物狀態(tài)和運(yùn)動(dòng)特征的一種普遍形式，與材料和能源一起是人類社會(huì)的重要資源，但對(duì)它的利用卻僅僅是開始。當(dāng)前面臨的信息革命以數(shù)字化和網(wǎng)絡(luò)化作為特征。數(shù)字化大大改善了人們對(duì)信息的利用，更好地滿足了人們對(duì)信息的需求；而網(wǎng)絡(luò)化則使人們更為方便地交換信息，使整個(gè)地球成為一個(gè)“地球村”。以數(shù)字化和網(wǎng)絡(luò)化為特征的信息技術(shù)同一般技術(shù)不同，它具有極強(qiáng)的滲透性和基礎(chǔ)性，它可以滲透和改造各種產(chǎn)業(yè)和行業(yè)，改變著人類的生產(chǎn)和生活方式，改變著經(jīng)濟(jì)形態(tài)和社會(huì)、政治、文化等各個(gè)領(lǐng)域。而它的基礎(chǔ)之一就是微電子技術(shù)?？梢院敛豢鋸埖卣f，沒有微電子技術(shù)的進(jìn)步，就不可能有今天信息技術(shù)的蓬勃發(fā)展，微電子已經(jīng)成為整個(gè)信息社會(huì)發(fā)展的基石。

50多年來微電子技術(shù)的發(fā)展歷史，實(shí)際上就是不斷創(chuàng)新的過程，這里指的創(chuàng)新包括原始創(chuàng)新、技術(shù)創(chuàng)新和應(yīng)用創(chuàng)新等。晶體管的發(fā)明并不是一個(gè)孤立的精心設(shè)計(jì)的實(shí)驗(yàn)，而是一系列固體物理、半導(dǎo)體物理、材料科學(xué)等取得重大突破后的必然結(jié)果。1947年發(fā)明點(diǎn)接觸型晶體管、1948年發(fā)明結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)晶體管以及以后的硅平面工藝、集成電路、CMOS技術(shù)、半導(dǎo)體隨機(jī)存儲(chǔ)器、CPU、非揮發(fā)存儲(chǔ)器等微電子領(lǐng)域的重大發(fā)明也都是一系列創(chuàng)新成果的體現(xiàn)。同時(shí)，每一項(xiàng)重大發(fā)明又都開拓出一個(gè)新的領(lǐng)域，帶來了新的巨大市場(chǎng)，對(duì)我們的生產(chǎn)、生活方式產(chǎn)生了重大的影響。也正是由于微電子技術(shù)領(lǐng)域的不斷創(chuàng)新，才能使微電子能夠以每三年集成度翻兩番、特征尺寸縮小倍的速度持續(xù)發(fā)展幾十年。自1968年開始，與硅技術(shù)有關(guān)的學(xué)術(shù)論文數(shù)量已經(jīng)超過了與鋼鐵有關(guān)的學(xué)術(shù)論文，所以有人認(rèn)為，1968年以后人類進(jìn)入了繼石器、青銅器、鐵器時(shí)代之后硅石時(shí)代（siliconage）〖1〗。因此可以說社會(huì)發(fā)展的本質(zhì)是創(chuàng)新，沒有創(chuàng)新，社會(huì)就只能被囚禁在“超穩(wěn)態(tài)”陷阱之中。雖然創(chuàng)新作為經(jīng)濟(jì)發(fā)展的改革動(dòng)力往往會(huì)給社會(huì)帶來“創(chuàng)造性的破壞”，但經(jīng)過這種破壞后，又將開始一個(gè)新的處于更高層次的創(chuàng)新循環(huán)，社會(huì)就是以這樣螺旋形上升的方式向前發(fā)展。

在微電子技術(shù)發(fā)展的前50年，創(chuàng)新起到了決定性的作用，而今后微電子技術(shù)的發(fā)展仍將依賴于一系列創(chuàng)新性成果的出現(xiàn)。我們認(rèn)為：目前微電子技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到了一個(gè)很關(guān)鍵的時(shí)期，21世紀(jì)上半葉，也就是今后50年微電子技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)和主要的創(chuàng)新領(lǐng)域主要有以下四個(gè)方面：以硅基CMOS電路為主流工藝；系統(tǒng)芯片（SystemOnAChip，SOC）為發(fā)展重點(diǎn)；量子電子器件和以分子（原子）自組裝技術(shù)為基礎(chǔ)的納米電子學(xué)；與其他學(xué)科的結(jié)合誕生新的技術(shù)增長點(diǎn)，如MEMS，DNAChip等。

【摘要】隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，我國的微電子技術(shù)得到了快速發(fā)展，使電子元件的集成程度越來越高，給微電子器件的清洗工作帶來了很大的挑戰(zhàn)，其清洗質(zhì)量對(duì)電子設(shè)備的質(zhì)量也會(huì)造成嚴(yán)重的影響。對(duì)此，本文對(duì)微電子工藝清洗方法的現(xiàn)狀進(jìn)行了分析，并提出了有效的清洗對(duì)策。

【關(guān)鍵詞】微電子設(shè)備；清洗技術(shù)；干法清洗

現(xiàn)階段，我國的微電子技術(shù)的迅速發(fā)展使電子設(shè)備向微型化、集成化方向發(fā)展，這導(dǎo)致微電子器件的清洗工作越來越復(fù)雜，其清洗質(zhì)量也會(huì)影響電子元件的質(zhì)量和使用壽命。因此，提高微電子工藝的清洗技術(shù)水平具有十分重要的意義。

1微電子工藝清洗技術(shù)的原理

微電子產(chǎn)品在生產(chǎn)加工過程中會(huì)因各種因素的影響導(dǎo)致產(chǎn)品受到污染。一般情況下，這些污染物會(huì)通過物理吸附或化學(xué)吸附等方式存留在產(chǎn)品表面，對(duì)產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命會(huì)造成嚴(yán)重的影響。例如，在生產(chǎn)硅片時(shí)，一些污染物的離子或粒子會(huì)存留在硅片表面或氧化膜中。這主要是因?yàn)樯a(chǎn)加工過程中，硅片的化學(xué)鍵受到了破壞，加劇了污染物的吸附力度。這種情況給硅片的清洗工作帶來了很大的難度。目前，我國使用的微電子清洗手段主要有兩種，即干法清洗和濕法清洗。

2微電子工藝清洗技術(shù)的現(xiàn)狀

1微電子控制機(jī)電設(shè)備系統(tǒng)的組成和原理

在設(shè)計(jì)系統(tǒng)時(shí)，首先應(yīng)確定變頻器的輸出頻率。因?yàn)檫@一參數(shù)的選擇關(guān)系到整個(gè)系統(tǒng)的控制效果，應(yīng)根據(jù)水泵流量。揚(yáng)程等參數(shù)和最大用水量和最小用水量確定。系統(tǒng)中用水量的大小由壓力變送器反映到PLC，再由PLC進(jìn)行分配給循環(huán)泵，隨時(shí)調(diào)節(jié)循環(huán)泵的頻率，實(shí)現(xiàn)能源合理分配。在此套系統(tǒng)里面，主要的被控變量是管路循環(huán)水的壓力，管路循環(huán)水的壓力隨著使用點(diǎn)的多少而變化，再由壓力變送器反饋到PLC進(jìn)行調(diào)節(jié)。

2可編程序控制器((PLC)的優(yōu)勢(shì)

可編程序控制器是微電子控制機(jī)電設(shè)備系統(tǒng)的重要組成部分，英語縮寫為PLC?？删幊绦蚩刂破饔泻芏嗟墓δ?，比如計(jì)數(shù)控制、數(shù)據(jù)處理等。可編程序控制器得到廣泛的運(yùn)用，不僅是因?yàn)樗泻芏嗟墓δ?，更是因?yàn)樗泻芏嗟膬?yōu)勢(shì)。接了下來筆者就簡單地概述一下可編程控制器的主要優(yōu)勢(shì)：

第一，可編程序控制器所占的空間小，節(jié)能，能夠隨意的進(jìn)行組合。所占的空間小，這樣就能夠節(jié)約廠房的空間資源，可以存放更多的機(jī)器設(shè)備；節(jié)能就是變相的節(jié)約成本，減少對(duì)整個(gè)微電子控制機(jī)電設(shè)備系統(tǒng)的整體支出；能夠靈活的進(jìn)行組合，這樣既方便存放和管理，又提高了工作的效率。

第二，可連接工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)信號(hào)。利用可編程控制器的這一優(yōu)勢(shì)，可以隨時(shí)掌握工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)的情況，出現(xiàn)問題，及時(shí)地解決，避免了很多不必要的損失。

1引言

預(yù)計(jì)在未來10到20年，微電子器件抗輻射加固的重點(diǎn)發(fā)展技術(shù)是：抗輻射加固新技術(shù)和新方法研究；新材料和先進(jìn)器件結(jié)構(gòu)輻射效應(yīng)；多器件相互作用模型和模擬研究；理解和研究復(fù)雜3－D結(jié)構(gòu)、系統(tǒng)封裝的抗輻射加固；開發(fā)能夠降低測(cè)試要求的先進(jìn)模擬技術(shù)；開發(fā)應(yīng)用加固設(shè)計(jì)的各種技術(shù)。本文分析研究了微電子器件抗輻射加固設(shè)計(jì)技術(shù)和工藝制造技術(shù)的發(fā)展態(tài)勢(shì)。

2輻射效應(yīng)和損傷機(jī)理研究

微電子器件中的數(shù)字和模擬集成電路的輻射效應(yīng)一般分為總劑量效應(yīng)（TID）、單粒子效應(yīng)（SEE）和劑量率（DoesRate）效應(yīng)。總劑量效應(yīng)源于由γ光子、質(zhì)子和中子照射所引發(fā)的氧化層電荷陷阱或位移破壞，包括漏電流增加、MOSFET閾值漂移，以及雙極晶體管的增益衰減。SEE是由輻射環(huán)境中的高能粒子（質(zhì)子、中子、α粒子和其他重離子）轟擊微電子電路的敏感區(qū)引發(fā)的。在p－n結(jié)兩端產(chǎn)生電荷的單粒子效應(yīng)，可引發(fā)軟誤差、電路閉鎖或元件燒毀。SEE中的單粒子翻轉(zhuǎn)（SEU）會(huì)導(dǎo)致電路節(jié)點(diǎn)的邏輯狀態(tài)發(fā)生翻轉(zhuǎn)。劑量率效應(yīng)是由甚高速率的γ或X射線，在極短時(shí)間內(nèi)作用于電路，并在整個(gè)電路內(nèi)產(chǎn)生光電流引發(fā)的，可導(dǎo)致閉鎖、燒毀和軌電壓坍塌等破壞［1］。輻射效應(yīng)和損傷機(jī)理研究是抗輻射加固技術(shù)的基礎(chǔ)，航空航天應(yīng)用的SiGe，InP，集成光電子等高速高性能新型器件的輻射效應(yīng)和損傷機(jī)理是研究重點(diǎn)。研究新型器件的輻射效應(yīng)和損傷機(jī)理的重要作用是：1）對(duì)新的微電子技術(shù)和光電子技術(shù)進(jìn)行分析評(píng)價(jià)，推動(dòng)其應(yīng)用到航空航天等任務(wù)中；2）研究輻射環(huán)境應(yīng)用技術(shù)的指導(dǎo)方法學(xué)；3）研究抗輻射保證問題，以增加系統(tǒng)可靠性，減少成本，簡化供應(yīng)渠道。研究的目的是保證帶寬／速度不斷提升的微電子和光（如光纖數(shù)據(jù)鏈接）電子電路在輻射環(huán)境中可靠地工作。圖1所示為輻射效應(yīng)和損傷機(jī)理的重點(diǎn)研究對(duì)象。研究領(lǐng)域可分為：1）新微電子器件輻射效應(yīng)和損傷機(jī)理；2）先進(jìn)微電子技術(shù)輻射評(píng)估；3）航空航天抗輻射保障；4）光電子器件的輻射效應(yīng)和損傷機(jī)理；5）輻射測(cè)試、放射量測(cè)定及相關(guān)問題；6）飛行工程和異常數(shù)據(jù)分析；7）提供及時(shí)的前期工程支持；8）航空輻射效應(yīng)評(píng)估；9）輻射數(shù)據(jù)維護(hù)和傳送。

3抗輻射加固設(shè)計(jì)技術(shù)

3．1抗輻射加固系統(tǒng)設(shè)計(jì)方法

摘要：隨著科技不斷發(fā)展和人們生活需求不斷提高，在日常生活中，微電子技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用的比較廣泛了，然而只有不斷利用、研究、開發(fā)和探索，把微電子技術(shù)投入到更多人們生活的領(lǐng)域中，為生活提供更多的方便?，F(xiàn)在通過對(duì)微電子技術(shù)的一些探討的同時(shí)，也對(duì)未來生活中更多方面使用微電子技術(shù)的美好憧憬和展望。

關(guān)鍵詞：微電子；技術(shù)；趨勢(shì)

一、前言

如今國家在科研方面取得較大進(jìn)步，都來源于科學(xué)技術(shù)不斷的創(chuàng)新，微電子技術(shù)就是如此，在生活中隨處可見，小到一個(gè)簡單的玩具跑車，大到國家核心裝備，這些都離不開微電子技術(shù)。作為一名高中生，微電子技術(shù)已經(jīng)逐漸踏入高中校園，在物理課實(shí)驗(yàn)中通過老師介紹了集成電路等，我們或多或少的對(duì)微電子技術(shù)有了些許了解。微電子技術(shù)從核心意義上來說具有體積小，把較為繁瑣的任務(wù)簡單處理，由于體積小的這一特征，使得微電子技術(shù)能夠在科學(xué)發(fā)展中占有重要地位。

二、微電子技術(shù)的發(fā)展

微電子技術(shù)在我們生活中能夠占領(lǐng)如此重要地位，是因?yàn)槲㈦娮蛹夹g(shù)在每個(gè)人不斷努力下，逐漸對(duì)這項(xiàng)技術(shù)不斷完善，在完善中逐漸成熟，所以才能夠投入到生活中為方便生活所用。（1）微電子技術(shù)的興起。早在1957年的時(shí)候，我國就開始對(duì)微電子技術(shù)付出努力，成立了專門機(jī)構(gòu)和選拔出了大量的科研人才投入到這項(xiàng)技術(shù)的開發(fā)，隨后隨著技術(shù)不斷的更新，半導(dǎo)體晶體管、無線電和集成電路等相繼被研發(fā)利用。但是對(duì)比與80年代的美國等發(fā)達(dá)國家而言，在這些技術(shù)上的比較還是相差甚遠(yuǎn)。但也是這時(shí)候，國家對(duì)這項(xiàng)技術(shù)的投入也加大了許多，包括經(jīng)濟(jì)和人才的投入，知道近些年來，國家把微電子技術(shù)視為國家科技發(fā)展的重要核心之一。（2）微電子技術(shù)的現(xiàn)狀。從微電子技術(shù)被發(fā)明到現(xiàn)在，它已經(jīng)憑借著速度快、質(zhì)量輕、工作效率高的多種特點(diǎn)，在在各種科技產(chǎn)品中得到重用，它是一款結(jié)合集成電路和半導(dǎo)體材料高水平電子技術(shù)，最近幾年來，我國在微電子技術(shù)行業(yè)取得很大的進(jìn)步，把提升國民經(jīng)濟(jì)和微電子技術(shù)相結(jié)合起來，在電子器件行業(yè)，著重關(guān)注于微電子技術(shù)的成熟和創(chuàng)新，把微電子技術(shù)投入到生活中多方面的使用，例如在計(jì)算機(jī)上，微電子技術(shù)取得了跟進(jìn)一步的發(fā)展，甚至到現(xiàn)在幾乎人人必備的手機(jī)上，微電子技術(shù)也得到重用，它的特點(diǎn)極大程度的改變了手機(jī)便攜式的特征。對(duì)于微電子技術(shù)這些重大的改變以及使用，從最大程度上的方便了人民的生活，加快了國家經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，促進(jìn)科學(xué)領(lǐng)域技術(shù)的創(chuàng)新。（3）微電子技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。在當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展迅猛的時(shí)代，微電子科技產(chǎn)品遍布全球的每個(gè)角落，人們都在繁忙的社會(huì)中享受到了極大地便捷。微電子技術(shù)中的半導(dǎo)體晶體管在各個(gè)行業(yè)得到推行和提倡，例如：教育行業(yè)、醫(yī)療行業(yè)、軍事行業(yè)機(jī)械行業(yè)等多方面。微電子技術(shù)都極大程度的改變這些行業(yè)的管理，例如微電子技提高了電子芯片的儲(chǔ)存效率，在需要多個(gè)人管理的實(shí)物對(duì)于現(xiàn)在的技術(shù)水平而言，一個(gè)人已經(jīng)可以勝任，所以微電子技術(shù)不僅便捷了人們的生活，還沖某種程度上改革了企業(yè)的管理制度。微電子技術(shù)在汽車的引擎系統(tǒng)也取得巨大成就，如今大多半汽車的防盜系統(tǒng)都有微電子技術(shù)的涉獵。再比如最常見的超市中收銀臺(tái)的掃碼器也注入了微電子技術(shù)的產(chǎn)品，比起以前計(jì)算器效率高出幾十倍上百倍。

1校企合作的可能性及重要意義

1．1無錫是我國微電子產(chǎn)業(yè)的南方基地，需要大量的微電子專業(yè)人才

無錫是中國微電子產(chǎn)業(yè)的搖籃，是我國第一塊集成電路的誕生地，微電子產(chǎn)業(yè)有著優(yōu)良的傳統(tǒng)和深厚的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)。近年來，無錫政府出臺(tái)了一系列優(yōu)惠政策（比如530計(jì)劃），大力吸引微電子高端人才，創(chuàng)辦了一批有競(jìng)爭力的集成電路設(shè)計(jì)公司。2013年無錫市政府又出臺(tái)了《無錫市微電子產(chǎn)業(yè)規(guī)劃（2013—2020）》，為無錫市微電子產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展提供了強(qiáng)有力的支持和保障。經(jīng)過30多年的發(fā)展，無錫微電子產(chǎn)業(yè)形成了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)比較完整，產(chǎn)業(yè)規(guī)模龐大，管理比較完善的良好局面。2013年無錫市微電子產(chǎn)業(yè)合計(jì)完成營業(yè)收入652．12億元，規(guī)模列全國第二［7］。SK海力士和華潤微電子分別以第二名和第四名入圍2013年度中國半導(dǎo)體十大制造企業(yè)。江蘇新潮科技集團(tuán)、海太半導(dǎo)體（無錫）有限公司和英飛凌科技（無錫）有限公司分別以第一名、第七名和第九名入圍2013年度中國半導(dǎo)體十大封裝測(cè)試企業(yè)［8］。雖然無錫市微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展取得了很大的成績，但也存在一些問題，比如：微電子產(chǎn)業(yè)的優(yōu)秀專業(yè)人才比較匱乏，已經(jīng)成為制約微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸之一。而高校是優(yōu)秀人才的聚集地，江南大學(xué)微電子專業(yè)可以發(fā)揮人才優(yōu)勢(shì)，為無錫的微電子產(chǎn)業(yè)培養(yǎng)大量的優(yōu)秀人才。

1．2江南大學(xué)注重校企合作

無錫日?qǐng)?bào)2013年9月21日發(fā)表題為“江南大學(xué)發(fā)揮高校優(yōu)勢(shì)，開展校企合作，服務(wù)地方經(jīng)濟(jì)———做無錫的創(chuàng)新引擎和發(fā)展智庫”的文章，文章指出：“江南大學(xué)提出要以項(xiàng)目為平臺(tái)，廣泛開展校企合作，為地方科技創(chuàng)新和經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型添磚加瓦，這是江南大學(xué)推進(jìn)與區(qū)域、產(chǎn)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新的方式和途徑?！苯洗髮W(xué)作為無錫唯一的一所211重點(diǎn)建設(shè)的高校，非常注重與企業(yè)的合作，積極參與國家、無錫地區(qū)的科技創(chuàng)新，推進(jìn)科技成果產(chǎn)業(yè)化，為本地區(qū)的經(jīng)濟(jì)服務(wù)。比如：與無錫市政府合作建立的江南大學(xué)國家大學(xué)科技園，已成為高科技研究項(xiàng)目的重要孵化基地；江南大學(xué)的科研經(jīng)費(fèi)每年以30％的速度在增加，其中60％～70％的科研總經(jīng)費(fèi)來自于與企業(yè)的合作?？傊?，江南大學(xué)一直探索的校企合作模式取得了顯著的成效。這也為我校微電子專業(yè)尋求校企合作提供了機(jī)遇和挑戰(zhàn)。

1．3微電子專業(yè)自身建設(shè)的特點(diǎn)